자주 있는 질문
CuCl2에서 FeCl3로 변경했을 때의 메리트는 무엇인가요?
1.설정 조정으로 에칭 스피드는 현 상태에서 10~20% 올리는 것도 가능합니다.
2.에치팩터가 올라갑니다.(염화동에 비해서 1에서 2 정도 올라감)
3.에칭 설비의 환경이 좋아집니다.(HCl농도가 낮기 때문에 부식가스 비산이 감소)
4.유기 첨가제의 기포는 염화철에서 분해되므로 기포가 발생하지 않게 됩니다.
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