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에칭 콘트롤러

아쿠아 시스템 콘트롤러
ASC-1100(CuC12) 염화제2동 에칭용

기판 한 장 한 장에 대응한 약품 공급으로 기존보다 약품 코스트를 30% 삭감시킵니다.

염화동 에칭으로는 에칭액에 포함되어 있는 동 농도나 염산 농도가 저농도에서 고농도에 걸쳐 업계나 회사가 요구하는 제품의 생산조건에 따라 적정한 약품농도가 정해집니다. 또한,그 재생방법도 다방면에 걸쳐집니다.

고객 여러분의 내용에 맞춘 약품을 만들어 가고 있습니다.

산화제는 산소/염소/과산화수소/염소산 나트륨 등으로 사용 가능합니다.

용도

PCB, 동 합금의 에칭 프로세스에 사용됩니다.

인쇄에서부터 전자부품을 만드는 공정의 에칭 머신에 추가시켜 사용됩니다.

염화동 에칭액의 농도관리에 최적입니다.

효력

실시간으로 다이렉트 센싱을 가능하게 하여, 장기 안정적으로 약품농도를 관리할 수 있어서 생산 안전성을 실현시킵니다.

특히 고 기능품이나 파인패턴 기판의 생산에서 고 정도 약품의 농도관리가 가능합니다.

효과

에칭 약품 조성의 동 농도, 염산 농도,산화제 농도를 개별 실시간으로 고 정도로 관리함에 의해 고품질과 생산 안정을 달성시켜, 저 코스트로 효과적으로 고 기능품을 만들 수 있습니다.

메리트

미세회로 부분의 완성 치수 안정화

면내 편차 저감

에칭 스피드 안정화

파인 패턴 대응능력의 향상

수율 개선

생산성 향상


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