반도체, PDP, 섀도우마스크, 알로이계, 엄버재, 동 합금, 니켈 합금, SUS계, 철계, 카본강계, 주석계,황동계에서부터 알루미늄까지의 현상 프로세스에서 사용되고 있습니다.

인쇄에서부터 전자부품을 만드는 공정의 현상박리 머신에 추가시켜 사용되며, 현상박리 알칼리액의 농도관리에 최적입니다.

실시간으로 다이렉트 센싱을 가능하게 하여, 장기 안정적으로 약품농도를 관리할 수 있어서 생산 안전성을 실현시킵니다.

특히 고 기능품이나 파인패턴 기판의 생산에서 고 정도 약품의 농도관리가 가능합니다.

현상약품 조성의 신액 알칼리 농도, 본조 알칼리 농도, 레지스트 농도를 개별 실시간으로 고 정도로 관리함에 의해 고품질과 생산 안정을 달성시켜, 저 코스트로 효과적으로 고 기능품을 만들 수 있습니다.

미세회로 부분의 완성 치수 안정화

면내 편차 저감

에칭 스피드 안정화

파인 패턴 대응능력의 향상

수율 개선

생산성 향상

브레이크 포인트의 안정

※ 특히 약품량을 많이 사용하는 분은 약품 재생에서 크게 메리트가 있는 경우가 있으므로 가볍게 상담해 주십시오.