매니지먼트 테크놀로지
저희들은 아래와 같은 센싱&콘트롤 테크놀로지와 프로세스 케미컬 노하우를 결집시켜, 에칭 프로세스의 생산성 향상, 안정 생산, 품질 향상을 추구하면서 약품 이용효율을 높임으로써 약품 코스트를 삭감(리덕션)하여 적절한 약품량 조절에 따라 장 수명・재이용을 실현(리유즈)시켜 폐액의 재자원화(리사이클)에 의해 지구환경 보호에도 노력하고 있습니다.
머신 구조
◆효율성 있는 약품 순환・약품의 적정 주입 장소
◆노이즈 대책・배관의 조합
◆펌프 선정・약품 온도차에 의한 폐해 대책
◆머신 구조의 진단과 개선
머신 기능
◆스프레이관 밸런스・노즐 밸런스
◆스프레이노즐 형태・분사 밸런스
◆분사 거리・분사 면적
◆호일 밸런스・오실레이션 밸런스
◆오실레이션 방식・오실레이션 기능
◆오실레이션 각도・오실레이션 속도
◆머신능력 판단과 AV
머신 능력
◆에칭 스피드・에칭 팩터
◆에칭면 밸런스・에칭 상하 밸런스
◆현장 테스트와 진단과 개선
케미컬 테크놀로지
◆반응 약품량 계산・반응 효율의 설정
◆적정 에칭량 계산・생산성 향상
◆품질 향상・저 코스트화
◆필요 조건에 의한 약품 선택・에치팩터와 첨가제
◆약품종에 의한 에칭 기능 비교와 제안
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